अंतर मोजण्याचे सर्वात लहान एकक फेमटोमीटर आहे.

फेमटोमीटर (femtometre): 1 फेमटोमीटर म्हणजे 10^-15 मीटर.

हे एकक विशेषतः अणुभौतिकी (nuclear physics) आणि कण भौतिकीमध्ये (particle physics) वापरले जाते, जेथे अत्यंत लहान अंतरांचे मापन करणे आवश्यक असते.

उदाहरणार्थ, एका प्रोटॉनचा (proton) आकार सुमारे 0.84 ते 0.87 फेमटोमीटर असतो.